会议内容
1.大会学术报告（特邀报告、邀请报告、会员报告与技术报告，共30多个）
◆量子计算与真空系统 （陈廷勇教授，南方科技大学）
◆基于真空电子学的太赫兹辐射源（宫玉彬教授,电子科技大学）
◆真空与半导体设备简述 (雷震霖研究员,中国科学院沈阳科学仪器研制中心)
◆电磁场增强的超高密度等离子体激励硬件设计及应用 (田修波教授,哈尔滨工业大学)
◆车用压铸模具抗侵蚀涂层工程应用研究 (夏原研究员, 中国科学院力学研究所)
◆团簇离子束平坦化在5G高像素光学部件超精密加工中的应用基础研究 (付德君教授,武汉大学)
◆磁控溅射与电致变色薄膜（刁训刚教授，北京航天航空大学）
◆极紫外光刻机若干关键真空技术（吴晓斌研究员，中国科学院微电子研究所）
◆仿生工程中的表界面行为研究及思考（郭志光研究员，中国科学院兰州化学物理研究所）
◆衍射波导显示器件--混合现实技术中的关键部件（李晓军研究员，国家纳米科技创新研究院）
◆非晶碳膜的PVD制备、应用及装备集成（郑军教授，安徽工业大学）
◆金刚石刀具涂层设计和力学性能研究（黄楠副研究员，中国科学院金属研究所）
◆SiC高温热处理设备及工艺应用 （李补忠副总裁，北方华创微电子装备有限公司）
◆高通量电子束光刻及检测装备前沿进展(佘峻聪教授,中山大学)
◆金属氧化物薄膜室温制备研究与应用（姚日辉教授，华南理工大学）
◆TiBN基纳米复合涂层制备及其性能研究（邹长伟教授，岭南师范学院）
◆闭合磁场的布局逻辑与作用（吴忠振副教授，北京大学深圳研究生院）
◆MOCVD装备制造技术（胡强副研究员，季华实验室）
◆纳米复合薄膜的设计与应用（黄继杰副教授，中山大学）
◆电子薄膜与被动元器件 (杨瞾高工,广东风华高新科技股份有限公司)
◆磁控溅射阴极的类型与应用（黄汉乐技术经理，英国真科公司）
◆半导体芯片工艺中真空系统的应用(义岚总经理,江苏联芯半导体科技有限公司)
◆高功率脉冲磁控溅射在微深孔镀膜上的应用（李志方副总经理，广东汇成真空科技股份有限公司）
◆基于国产化离子源的离子束微纳加工装备与工艺应用（刘伟基技术总监，中山市博顿光电科技有限公司）
◆新型磁控溅射镀膜技术在光学领域的应用开发
（陈旺寿技术总监，湘潭宏大真空技术股份有限公司）
2.广东省真空学会第六届理事会全体会议
3.第一届广东省真空科技创新奖颁奖典礼
4.第六届广东省真空科技青年优秀论文奖颁奖典礼
粤公网安备 44010602008164号
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